浙江启尔机电技术有限公司

电子技术/半导体/集成电路

民营公司

浙江省杭州市临安区青山湖科技城励新路99号

浙江启尔机电有限公司主要从事微电子制造装备。公司前身为浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室的科研团队，该团队自2004年以来，在国家863计划和国家重大专项等科研项目支持下，对“光刻机浸液系统”开展了十余年的技术攻关和产品研发，拥有国内领域最强技术积累和100余项发明专利。公司主要产品“光刻机浸液系统”是浸没式光刻机的四大核心部件之一，得到国家02重大科技专项支持。2013年团队转型为公司化运行，使研发和管理体系得到不断完善。公司将于近期在青山湖科技城建设光刻机浸液系统产品研制与小批量生产基地。未来，公司将继续依托浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室等***研究平台，专注于“光刻机浸液系统”的产品研制，矢志成为我国半导体装备产业的核心企业。