集成电路生产制造工艺检测设备开发商睿励科学仪器获16亿元增资

消息来源:上海证券报 上证报中国证券网讯记者 李兴彩浦东科创集团7月4日宣布，其投资企业睿励科学仪器(上海)有限公司简称睿励科学仪器完成新一轮增资1.6亿元，该轮增资由部分原有股东全部认购 睿励科学仪器表示，本轮所融资金将主要用于光学膜厚量测设备和缺陷检测设备的产品迭代研发及新产品研发和生产投入 据介绍，睿励科学仪器创建于2005年，总部设立在张江，公司从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制 公司的膜厚测量、缺陷检测及光学关键尺寸测量等设备已为国内近20家前道半导体晶圆制造客户所采用，在不同的生产工艺产线上通过了大规模量产验证累计数以亿计的晶圆跑片数，设备稳定性和快速响应解决问题的能力得到客户认可 近两年推出的12英寸膜厚量测设备TFX4000系列和应用于明暗场的12英寸高精度光学缺陷检测设备WSD系列在相继交付国内重要客户后，快速通过验证并获得客户好评，已取得多台重复销售订单 。