拓荆科技叩门科创板 大基金等云集股东榜

消息来源:上海证券报 7月12日晚间，上交所科创板迎来一名特殊的芯考生 公司自身无控股股东、实际控制人，却获得国家集成电路基金即大基金、中微公司等一众半导体产业界大咖的青睐，纷纷坐镇股东榜 这名考生是拓荆科技股份有限公司下称拓荆科技，此次拟募集资金10亿元，有望进一步壮大科创板芯生队伍 据招股书申报稿显示，拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务 公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、原子层沉积ALD设备和次常压化学气相沉积SACVD设备三个产品系列，已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，并已展开10nm及以下制程产品验证测试 尽管无控股股东，但拓荆科技股东榜却云集了国内半导体产业的多家重量级公司 国家集成电路基金、国投上海、中微公司分别持有公司26.48%、18.23%、11.2%的股权 。