公告上海新阳与北方集成电路技术创新中心北京有限公司签订合作框架协议

消息来源:上海证券报 上证报中国证券网讯记者 骆民上海新阳公告，公司与北方集成电路技术创新中心北京有限公司签署合作框架协议，双方将合作在北方集成电路技术创新中心北京有限公司指定工厂搭建光刻胶验证平台，该平台由ArF光刻机和涂胶显影机组成，用于先进光刻胶验证；双方将在ArF193nm干法光刻胶产业化领域采取多样化的模式，开展广泛、深入的合作 未来公司将采购的用于193nm ArF干法光刻胶研发的ASML-1400光刻机放置于合作方指定的地点，双方正在沟通协商光刻机入厂的底座安装及制作事宜，待底座安装完成后，光刻机即可进入合作方进行调试使用 预计光刻机进入合作方现场的时间是2021年3月底前 。