西湖大学突破冰刻三维微纳加工技术

消息来源:上海证券报 新华社杭州12月3日电 在仅有头发丝八分之一粗细的光纤末端进行冰刻加工，且一次雕刻上百件作品，这是西湖大学仇旻实验室团队近期发布的一项三维微纳加工技术 近两个月内，该团队在纳米快报纳米尺度应用表面科学等期刊上连续发表了一系列研究成果 研究人员介绍，在2018年发布的冰刻系统研发的基础上，这次发布的冰刻2.0技术以原料进、成品出为目标，力争打造从精确定位到精准控制雕刻力度，再到以冰雕为模具制作结构、加工器件的一体化系统 电子束光刻技术是微纳加工的核心技术之一，而光刻胶是加工过程中非常关键的材料 例如当电子束打在冰层上，冰会气化，这样就能直接雕刻出冰模板，规避了传统化学清洗引起污染和光刻胶残留导致良品率低等问题 研究团队给这层冰起名冰胶，给冰胶参与的电子束光刻技术起名冰刻 。