攻克另一座珠峰国产高能离子注入机新突破

消息来源:新华网 新华社北京6月28日电记者胡喆记者28日从中国电子科技集团有限公司获悉，由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平 据介绍，离子注入机是芯片制造中的关键装备 在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备 高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型 电科装备在离子注入机领域具有较好的技术积淀，已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题，产品广泛服务于全球知名芯片制造企业 。