南大光电ArF光刻胶开发和产业化项目正处于光刻胶样品验证阶段

消息来源:上海证券报 上证报中国证券网讯记者 骆民南大光电披露股票交易异常波动公告称，公司承接的国家02专项之ArF光刻胶产品的开发和产业化项目的基础建设按计划进行；2019年底完成一条生产线的安装，正在调试阶段 2020年4月，公司采购的用于检测ArF(193nm)光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂，5月开始进行安装调试，预计安装调试需要4-5个月的时间 公司制备ArF(193nm)光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发，研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试 目前ArF光刻胶开发和产业化项目正处于光刻胶样品验证阶段，验证过程预计需要12-18个月，甚至更长的时间 。