我开发新型飞秒激光等离子激元光刻技术

消息来源:新华网 10日，记者从中科院长春光学精密机械与物理研究所获悉，来自该所等单位的研究人员，开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术FPL 利用该技术，研究人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面实现了高质量微纳周期结构的快速制备 相关成果发表在光：科学与应用上 石墨烯被发现以来，二维材料逐渐进入人们视野，成为材料领域的研究热点 如何利用灵活简便的加工手段解决加工精度和加工效率问题是拓展飞秒激光实用化的关键所在 得益于飞秒激光的非线性光学特点，FPL技术加工过程不易受材料表面缺陷、杂质等因素的影响，加工基底也不易受到材料种类的限制 加工材料表现出了优异的机械性能，可以利用传统的湿转移法进行完整转移 。